真空镀膜、真空干燥、表面处理:在真空中制备膜层包括镀制晶态的金属、半导体、绝缘体等单质或化合物膜。虽然化学汽相沉积也采用减压、低压或等离子体等真空手段但一般来说真空镀膜是指用物理的方法沉积薄膜。真空泵应用领域在镀膜行业、表面处理以及干燥环节起着---的作用。
按真空泵的工作原理,真空泵基本上可以分为两种类型,即变容真空泵和动量传输泵。
变容真空泵是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。气体在排出泵腔前被压缩。
动量传输泵(分子真空泵)依靠高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给气体或气体分子,油螺杆真空泵,使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
变容真空泵又分为:往复式,旋转式(旋片式、滑阀式、液环式、罗茨式、螺旋式、爪形转子式),其它型式。
1、真空泵的---压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的---压力低于工艺要求约一个数量级。
2、每种泵都有一定的工作压力范围,因而,泵的工作点应该选在这个范围之内,油螺杆真空泵公司,而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。
3、真空泵在其工作压力下,油螺杆真空泵,应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。
4、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响,若工艺过程不允许,应选择无振动的泵或者采取防振动措施。
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