正压---所质谱检漏仪-华诚浩达----所质谱检漏仪

---质谱检漏仪主要性能指标试验方法

灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、---真空度及仪器入口处抽速是评价---质谱检漏仪的主要性能指标。

灵敏度及其校准

---质谱检漏仪灵敏度，正压---所质谱检漏仪，通常指仪器的*小可检漏率。记为ql.min，即在仪器处于*佳工作条件下，以一个---压的纯---气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的*小漏孔漏率。所谓“*佳工作条件”是指仪器参数调整到*佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。仪器的反应时间不大于3s。所谓“*小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。所谓“漏孔漏率”是指一个---压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的波动量。

如果检漏时用辅助系统抽气（即对示漏---气有分流）。或用累积法检漏时，给出仪器*小可检---浓度（即浓度灵敏度）。记为γmin，正压---所质谱检漏仪，能较方便地估计检漏效果。

浓度灵敏度校准系统中应用量计测出通过针阀2进入仪器的空气流率ql.o，则仪器浓度灵敏度。

反应时间、清除时间及其测定

反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零（或补偿到零）时，由恒定的---流量使输仪表讯号上升到值的（1-e-1）倍（即o.63）所需要的时间，记为τr。

清除时间是指输出仪表讯号稳定到值后，停止送---，其讯号下降到值的e-1倍（即o.37）所需要的时间，记为τc。

工作真空、---真空及入口处抽速

质谱室---真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。利用检漏仪的真空规可以测定仪器的---真空和工作真空。利用流量计可测定仪器入口处抽速。

---质谱检漏仪的检漏方式有哪些

---质谱检漏仪的检漏方式通常有两种，---所质谱检漏仪，一种为常规检漏，另一种为逆扩散检漏。

逆扩散检漏是把被检件接在分子泵出气口一端，漏入的---气由分子泵出气口逆着泵的排气方向进入安装在泵的进气口端的质谱管内而被检测。这一检漏方式是基于分子泵对不同的气体具有不同压缩比（气体在分子泵出气口压强与进气口压强之比）即利用不同气体的逆扩散程度不同程度而设计的。

---质谱检漏仪逆扩散原理

逆扩散方式检漏允许被检件内压强较高，---质谱检漏仪可达1000pa（一般常规检漏仪为0.05pa以下），适合检大型容器或有大漏的器件，也适合吸检漏。逆扩散方式还具有质谱管不易受污染，灯丝---等优点。