首先,---质谱检漏仪在校准灵敏度时,标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同,正压质谱检漏真空系统厂家,即,标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大,漏入---气在途中损失不相等,这会导致经二者进入检漏仪的---气量可比性差。 第二,正压质谱检漏真空系统厂家,进入被检漏孔和标准漏孔的---气压力或分压比不相等,或者不能准确地给出---气压力和分压比的数值而导致无法换算,这时也会产生漏率测量误差。 第三,所用标准漏孔的标称漏率有误差。 第四,---质谱检漏仪输出指示与漏率的线---差。 第五,校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时,所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。 第六,检漏仪的性能不稳定。 第七,---气纯度不稳定或存在误差。 第八,之后也就是检漏操作人员的因素,包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。
---质谱检漏仪的真空系统提供质谱室正常工作所需要的真空条件,不同型号的---质谱检漏仪其真空系统有较大的差别。
1、检漏阀:接在质谱室和被检件之间的管道上。有些---质谱检漏仪采用节流阀,控制流入质谱室的气体流量。
2、真空规:一般采用冷阴极磁控放电直空规(潘宁规,又称冷规)来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
3、标准漏孔:一般---质谱检漏仪内都附有标准漏孔(大多为薄膜渗---型),用它来校准---质谱检漏仪的z小可检漏率和对---质谱检漏仪输出指示进行定标。
1,气路设计,提高了对---的抽速,缩短了清---本底时间,有效防止---污染。2,
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