按工作原理和结构特点分类
(1)机械式容积真空泵
靠机械运动使泵腔工作容积周期变化来实现抽气作用的是机核式容积真空泵。属于这类泵的有往复式真空泵、旋转式机械泵(包括旋片式、螺杆式、罗茨式、液环式等)。这类泵中除机械增压泵外,一般均可单独使用。
(2)射流式真空泵
没有机械运动部件,主要靠通过喷嘴的高速射流来抽真空的是射流式真空泵。属于这类泵的有水蒸气喷射泵、空气喷射泵、水喷射泵以及各种扩散泵等。这类泵结构简单,工作---,---,易于维修,应用比较普遍。
真空泵在工业部门中应用相当广泛,如灯泡制造、电子管、食品包装、半导体器件的制造。真空蒸馏、真空浸渍、离子氮化、真空干燥、真空渗碳,真空淬火、真空浇铸等。在真空条件下由于气体分子数较少,可以避免气体产生的有害作用。如在真空中热处理可以避免氧化和气体渗入金相组织,从而提高零件;在电子器件中保持高真空可以避免电子运动受到影响;在真空包装中保持高真空可以提高食品保质期。在现代科学技术中,辽宁贝克真空泵,真空技术更是不可缺少的手段,如受控热---,宇宙模拟等工程都需要高真空或真空技术。
真空泵的种类很多,有机械真空泵(如往复式真空泵、油封式机械真空泵、罗茨真空泵、涡轮分子泵、水环式真空泵等),贝克真空泵代理,喷射真空泵(如水蒸汽喷射泵、水喷射泵、---喷射泵、油增压泵、油扩散泵等),还有物理化学吸附泵(如钛泵、分子筛吸附泵、低温泵等).在机械工业部门中主要采用机械真空泵,其他类型的泵则较少采用。
1. 物理法
使用物理法进行抽真空的一般是吸附泵、吸气剂泵以及吸气剂离子泵。吸附泵通过大面积的吸附剂覆盖吸附的方式获取真空,是一种捕集真空装置;吸气剂泵则是利用吸气剂(一般是块状或者沉积式新鲜薄膜形式存在)捕获气体,进行抽真空;吸气剂离子泵将气体电离,再通过电场、磁场的作用达到吸附在材料表面的目的,从而实现抽气,又分为两种,一种是蒸发离子泵,被电离的气体持续或者以间断的升华从而被吸附,另外一种是溅射离子泵,被电离的离子,被吸附在由阴极持续溅射出来的吸气材料上,实现吸气。2. 机械法
使用机械法抽真空的也有两种类型的泵,贝克真空泵,一种是变容真空泵,一种动量传输泵。变容真空泵通过泵的容腔容积的变化完成吸气和排气的过程,达到抽气的目的,贝克真空泵公司,分为复式和旋转式两种。
还有就是动量传输泵,通过高速旋转的叶片或者高速的射流,气体分子接收到这种动量,这种动量将气体连续的输送,包括分子真空泵、水蒸汽喷射泵以及扩散泵等。
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