真空机组的抽气能力不够还是漏率高;或者两者兼而有之，需要耐心观察和记录，从中找出故障原因，比如，抽空时间相同，而真空度偏低，这时候，关闭高压阀，如真空计指针很快下降，真空机组，多数情况是真空室漏了，应先查出漏点。如真空计指针下降很慢，多数情况是真空机组抽气能力不够，这时可将重点放到查找真空泵及阀门的问题上，真空机组代理，看是哪里出现了泄漏，真空机组价格，或是扩散泵油被污染、氧化等；或是前级管路密封不好，泵油不足;或是泵有油乳化，轴封漏油，阀片损坏等故障。
以扩散泵为主泵的真空机组的---真空度为10-7~10-8pa。
为减少来自扩散泵前级的气体反扩散和阻挡机械泵油的反扩散对---真空度的影响，可在扩散泵前级申联一台抽速小的扩散泵，以降低压缩比，减小反扩散。如在扩散泵进气口上边增设钛升华阱，可进一步降低来自扩散泵的氮气分压力，能获得10-11pa的真空。
真空应用设备～在真空环境下(低于一个---压的气体状态)，应用的各种设备
a、真空镀膜机：蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机、离子镀膜机和等离子化学沉积装置等。
b、真空冶炼炉：电阻炉、电子束炉、电弧炉、感应炉和单晶炉等。
c、真空热处理炉：淬火炉、回火炉、退火炉、渗碳炉、渗氮炉和渗金属炉等d、其它真空设备：冷冻干燥设备、蒸馏设备、提纯设备、浸渍设备、果蔬保鲜设备、运输设备、空间模拟设备、包装机和钢水脱气装置等。
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